耐腐蝕真空泵因為其具有良好的耐腐蝕性能，所以可以用于抽吸很多具有腐蝕性的氣體，這是其他的同類設備所不具備的性能，但是因為需要經常抽吸具有腐蝕性的氣體，那么可能在運行的過程當中就會有一些吸附在設備腹腔內部，所以需要對設備的腹腔進行清理。
　　設備在經過長久的運行之后，內部一定會聚集很多的水垢或其他物質，如果只是使用使用清水那么可能是清洗不干凈里面的污垢的，所以我們在清洗的時候可以添加一定的清洗劑來進行清洗。通常來說可以選擇使用硝酸或是其他的可溶性物質進行清洗，不過在使用的時候需要注意使用稀釋后的，不可以選擇純度過高的使用，否則會對設備內部的一些配件造成損壞，把清洗劑放在容器里面靜置一個小時左右就可以放出來了，然后使用清水沖洗干凈，其實這個清洗的過程是非常方便的，所以可以對設備定期的進行保養，因為只有這樣才可以保護好耐腐蝕真空泵，運行的時候能夠比較穩定。
　　設備在運行的時候參與的介質可能會是不同的，所以如果在更換介質開始輸送之前，一定要先將之間參與的介質清理干凈，而且想要保持設備可以經過長時間進行使用，日常當中的維護工作是必不可少的，所以我們一定要重視設備的日常維護和保養。在清理這方面來說，不只是外表的清理，內部的清理也是非常重要的。
　　上面介紹的就是耐腐蝕真空泵的腹腔進行清理的過程，我們在清理的時候需要注意，里面可能會有長久使用留下的水垢等，這些也都是需要清理干凈的，如果里面的污垢比較多，那么在清理的時候可以適當增加清洗劑的量。